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MCVD-Tipp: Vermeiden Sie „Unterschwingen/Überschwingen“ während des Abscheidungsprozesses auf der Drehmaschine

Es ist wichtig, die PID so zu programmieren, dass die Röhrentemperatur auf dem gewünschten Sollwert bleibt und gleichzeitig ein Unter- / Überschwingen vermieden wird. Hier ist ein Beispiel für eine Unterschwingungs- / Überschwingerschwingung. Angenommen, Sie stellen die Temperatur auf 1700 ° C ein, aber die PID ist nicht optimiert. Wenn die Temperatur auf 1699 ° C abfällt, erhöht der PID den Wasserstoffstrom. Die Temperatur steigt auf 1710 Grad. Die PID reagiert durch Reduktion von Wasserstoff. Jetzt sinkt die Temperatur auf 1690 Grad. Der Differenzspalt hat sich mit starken Temperaturschwankungen vergrößert. Eine ordnungsgemäß programmierte Qualitäts-PID steuert die Abscheidungstemperatur über die gesamte Länge des Vorformlings genau. Um Konsistenz und Reproduzierbarkeit entlang der Länge des Vorformlings zu erreichen, empfehle ich eine strenge Kontrolle von +/- 1 bis 2 ° C.
 

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