El proceso de limpieza de tubos es una parte crítica de la preparación. Encuentro que usar el primer paso de limpieza para eliminar las impurezas metálicas funciona bien. Si fuera a grabar con HF primero, puede grabar el vidrio alrededor de la impureza metálica, pero no necesariamente eliminarla. Si solo graba con HF, pueden quedar algunas impurezas metálicas. Este es mi enfoque del proceso de limpieza de tubos:
- Para el primer paso, se puede utilizar agua regia (una mezcla ácida de ácido clorhídrico, ácido nítrico y agua). Un ciclo típico de limpieza con ácido es de 30 a 60 minutos con agua regia para eliminar las impurezas metálicas, seguido de un enjuague con agua desionizada. Es posible que desee ajustar el tiempo según su proceso.
- El siguiente paso es grabar las superficies de vidrio, limpiando el interior y el exterior. La mayoría de los operadores de MCVD utilizan ácido fluorhídrico. Una concentración del 15% durante 30-60 minutos es un buen punto de partida. Es posible que desee ajustar el tiempo y la concentración para su proceso.
- Siga ese ciclo de grabado con un enjuague final DI y seque con nitrógeno para evitar manchas de agua.
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