Der Rohrreinigungsprozess ist ein kritischer Teil der Vorbereitung. Ich finde, dass der erste Reinigungsschritt zum Entfernen metallischer Verunreinigungen gut funktioniert. Wenn Sie zuerst mit HF ätzen, können Sie das Glas um die metallische Verunreinigung herum ätzen, aber nicht unbedingt entfernen. Wenn Sie nur mit HF ätzen, können einige metallische Verunreinigungen zurückbleiben. Hier ist mein Ansatz für den Rohrreinigungsprozess:
- Für den ersten Schritt kann Königswasser verwendet werden (eine Säuremischung aus Salzsäure, Salpetersäure und Wasser). Ein typischer Säurereinigungszyklus dauert 30 bis 60 Minuten mit Königswasser, um metallische Verunreinigungen zu entfernen, gefolgt von einer DI-Wasserspülung. Möglicherweise möchten Sie die Zeit abhängig von Ihrem Prozess anpassen.
- Der nächste Schritt besteht darin, die Glasoberflächen zu ätzen und innen und außen zu reinigen. Die meisten MCVD-Betreiber verwenden Flusssäure. Eine Konzentration von 15% für 30-60 Minuten ist ein guter Ausgangspunkt. Möglicherweise möchten Sie die Zeit und Konzentration für Ihren Prozess anpassen.
- Folgen Sie diesem Ätzzyklus mit einer abschließenden DI-Spülung und trocknen Sie ihn mit Stickstoff, um Wasserflecken zu vermeiden.
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